Вакуумдық булану жабыны, булану деп аталады, вакуум жағдайында белгілі бір қыздыру және булану әдісін қолдану арқылы жабын материалын (немесе пленка материалын) булану және буландыру процесін білдіреді, ал бөлшектер конденсация және конденсация үшін субстрат бетіне ұшып кетеді. фильм құрайды. Булану - қарапайым қабықша қалыптастыру әдісі, жоғары пленка тазалығы мен ықшамдығы, сондай-ақ бірегей пленка құрылымы мен өнімділігі артықшылықтары бар ерте және кеңінен қолданылатын бу тұндыру технологиясы. Вакуумдық булануда қолданылатын материалдар булану материалдары деп аталады.
Тұндыру материалы буланады немесе газ тәріздес бөлшектерге сублимацияланады → газ бөлшектері булану көзінен субстрат бетіне тез тасымалданады → газтәрізді бөлшектер субстрат бетіне ядро түзу үшін бекітіледі және қатты қабықшаға айналады → пленка атомдық реконструкция немесе химиялық байланыс пайда болады.
Субстратты вакуумдық камераға салыңыз, пленка материалын буландыру немесе сублимациялау үшін кедергі, электронды сәуле, лазер және т.б. көмегімен пленка материалын қыздырыңыз және белгілі бір энергиямен бөлшектерге (атомдарға, молекулаларға немесе атомдық топтарға) газдандырыңыз ( 0.1-0.3эВ).
Газ тәрізді бөлшектер соқтығыспай, сызықты қозғалыста субстратқа жылдам тасымалданады. Астардың бетіне жеткен бөлшектердің бір бөлігі шағылысады, ал екінші бөлігі субстратқа адсорбцияланып, бетіне таралады. Шөгілген атомдар арасында кластерлерді қалыптастыру үшін екі өлшемді соқтығыстар пайда болады. Ол булану алдында аз уақыт бетінде қалуы мүмкін.
Бөлшек шоғырлары үнемі диффузиялық бөлшектермен соқтығысады немесе жеке бөлшектерді жұтады немесе жеке бөлшектерді шығарады.
Бұл процесс қайталанады. Агрегацияланған бөлшектердің саны белгілі бір критикалық мәннен асқанда, ол тұрақты ядроға айналады, содан кейін біртіндеп өсу үшін бөлшектерді сіңіріп, диффузиялауды жалғастырады. Соңында, іргелес тұрақты ядролардың жанасуы және қосылуы арқылы үздіксіз пленка пайда болады.
Кедергінің булану принципі: булану температурасы 1000-2000 ° C болатын материалдарды булану көзі ретінде қарсылық арқылы қыздыруға болады. Қыздырғыш қарсылық қуаттандырылғаннан кейін жылу шығарады және пайда болатын жылу булану материалының молекулалары немесе атомдары булану үшін жеткілікті кинетикалық энергия алады.
1. Булану көзі негізінен жіп тәрізді (0.05-0.13 см), оңай жұмыс істейді, арзан шығын материалдары және оңай ауыстырылады.
2. Буландыратын материал қыздырғыш сымды ылғалдандыруы және беттік керілумен қамтамасыз етілуі керек. Тек металды немесе қорытпаны буландыруға болады, ал қыздырғыш сым оңай сынғыш болады.
3. Кеңінен қолданылатын булану көздері: W, Mo, Ta, жоғары температураға төзімді металл оксиді, керамикалық немесе графит тигель.
Электр рентасының булануының кемшіліктері: тірек материал мен буландырғыш арасында реакция болуы мүмкін; жалпы жұмыс температурасы 1500 ~ 1900 ℃, жоғары булану температурасына жету қиын, сондықтан буланатын материалдар шектеулі; булану жылдамдығы төмен; қыздыру жылдамдығы жоғары емес, Егер булану кезінде буланатын материал қорытпа немесе қосылыс болса, ол ыдырауы немесе басқа булану жылдамдығына ие болуы мүмкін, бұл пленка құрамының буланатын материалдың құрамынан ауытқуына әкеледі. Жоғары температурада тантал және алтын қорытпалар түзеді, алюминий, темір, никель, кобальт және т.б. вольфрам, молибден, тантал және т.б., ал вольфрам, молибден сумен немесе оттегімен әрекеттесіп, ұшқыш оксидті газдар түзеді.
Электрондық сәуле 5-10КВ электр өрісінен өткеннен кейін жеделдетіледі, содан кейін буланатын материалдың бетіне фокусталады, ал энергия балқу және булану үшін булану үшін материалға беріледі.
1. Отқа төзімді заттардың булануы жүзеге асырылуы мүмкін, ал жылдам булану қорытпалардың бөлінуін болдырмау үшін үлкен қуат тығыздығымен жүзеге асырылуы мүмкін.
2. Бірнеше тигельді бір уақытта қоюға болады, әр түрлі заттарды бір уақытта немесе бөлек буландыруға болады;
3. Ластанусыз. Электрондық сәулелік булану жүйелерінің көпшілігі магниттік фокустау немесе магнитті иілу электронды сәулелерін пайдаланады. Буланған материал сумен салқындатылатын тигельге салынады, ал тигельмен жанасатын булануға жататын материал (сумен салқындатылған тигель) қатты күйінде қалады және материалдың бетінде буланады.
Тигель мен булану материалы арасындағы реакцияны тиімді тежейді, булану материалы мен тигель арасындағы реакцияның мүмкіндігі өте аз, жоғары тазалықтағы жұқа қабықшаларды дайындауға жарамды және оптика салаларында жұқа пленкалық материалдарды дайындай алады. , электроника және оптоэлектроника, мысалы, Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si және т.б.; буланған молекулалық кинетикалық энергия үлкенірек және қарсылық қыздырудан гөрі қаттырақ және тығыз пленка алуға болады.
Электрондық сәуленің булануының кемшіліктері: Ол буланған газды және қалдық газды иондауы мүмкін, бұл кейде пленка қабатының сапасына әсер етеді; электрондық сәулелік булану құрылғысының құрылымы күрделі және қымбат; түзілген рентген сәулелерінің адам ағзасына белгілі бір зияны бар.
Лазерді булану принципі: Лазер жылу көзі ретінде пайдаланылады, ал жоғары энергиялы лазер сәулесі буланған материалды сублимация нүктесіне дейін қыздыру, оны газға айналдыру және оны газға қою үшін вакуумдық камераның терезесінен өтеді. фильм.
1. контактісіз қыздыруды қолданыңыз, ластануды азайтыңыз, ультра вакуумда таза пленкаларды дайындауға жарамды вакуумдық камераны жеңілдетіңіз;
2. Жылу көзі таза, жылыту органынан ластанбаған;
3. Фокустау жоғары қуат алуға және керамика және күрделі композициялық материалдар (лезде булану) сияқты балқу температурасы жоғары материалдарды тұндыруы мүмкін;
4. Сәуле шоғырланған, лазерлік құрылғыны ұзақ қашықтыққа орналастыруға болады және кейбір арнайы материалды пленкаларды (мысалы, жоғары радиоактивті материалдар) қауіпсіз түрде қоюға болады;
5. Жоғары булану жылдамдығы, пленка жоғары адгезияға ие.
Лазерлік буланудың кемшіліктері: пленка қалыңдығын бақылау қиын; ол қызып кетудің ыдырауын және қосылыстардың шашырауын тудыруы мүмкін; лазерлік булану жабдықтарының құны салыстырмалы түрде жоғары.
Қатаң сапаны бақылау: Толық сынақ жабдығы мен жүйесі.
Толық санат: Барлық металл элементтерді жабу.
Түрлі пішіндер: түйіршіктер, ұнтақтар, үлпектер, таяқшалар, пластиналар және сақиналар т.б.
Әртүрлі тазалық: 2N7-6N5 бастап, 99.7%-99.9999% тазалық, одан да жоғары.
Тұтынушы RFQ электрондық пошта арқылы жібереді
- материал
- Тазалық
- Өлшем
- Саны
- Сурет салу
Электрондық пошта арқылы 24 сағат ішінде жауап беріңіз
- Бағасы
- Жеткізу құны
- Тоқтау
Мәліметтерді растаңыз
- Төлем шарттары
- Сауда шарттары
- Қаптама мәліметтері
- Жеткізілім мерзімі
Құжаттардың бірін растаңыз
- Сатып алуға тапсырыс
- Проформа-шот
- Ресми дәйексөз
Төлем шарттары
- Т/Т
- PayPal
- AliPay
- Несие картасы
Өндіріс жоспарын шығарыңыз
Мәліметтерді растаңыз
Коммерциялық шот-фактура
Тоғанақ парағы
Суреттерді орау
Сапа сертификаты
Тасымалдау жолы
Экспресс бойынша: DHL, FedEx, TNT, UPS
Ауа-райында
Теңіз арқылы
Клиенттер кедендік ресімдеуден өтіп, пакетті алады
Келесі ынтымақтастықты күтеміз